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      FAST MR-3電鏡屏蔽/主動(dòng)消磁系統【原裝德國進(jìn)口】

      FAST MR-3電鏡屏蔽/主動(dòng)消磁系統【原裝德國進(jìn)口】

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      FAST MR-3電鏡屏蔽/主動(dòng)消磁系統【原裝德國進(jìn)口】

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      FAST MR-3電鏡屏蔽/主動(dòng)消磁系統【原裝德國進(jìn)口】
      FAST MR-3電鏡屏蔽/主動(dòng)消磁系統

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      系統是一種三維空間內的交流磁場(chǎng)補償系統,通過(guò)傳感器感知空間環(huán)境中交流磁場(chǎng)及其變化量,控制器通過(guò)三維空間線(xiàn)圈來(lái)提供反磁場(chǎng),抵消環(huán)境磁場(chǎng)給電子束設備帶來(lái)的影響,恢復應有的分辨率和精度。

      通過(guò)穩定磁場(chǎng)環(huán)境確保您購置的電子束科技設備應有性能
      消除和監測交直流磁場(chǎng)
      簡(jiǎn)單的“一勞永逸”式操作,連續實(shí)時(shí)補償磁場(chǎng)
      磁場(chǎng)躍變響應速度:100 μs以?xún)?br />交流或直流磁場(chǎng)傳感器
      消磁器動(dòng)態(tài)工作范圍為(X & Y軸) 為<=40 mG (4 μT ) pk-pk, Z -軸為<=30mG (3.0μT) pk-pk
      交流磁場(chǎng)可消除范圍:0.5 Hz to 5 kHz;市電50 Hz(典型)的交流背景磁場(chǎng)可被改善75倍
      直流磁場(chǎng)可消除范圍:DC to 5 kHz;直流背景磁場(chǎng)可被改善200倍
      完整的X, Y, Z三軸消磁系統
      可消除場(chǎng)強高達80 mG (8.0 μT) pk-pk
      消磁器顯示系統需為數字LCD 顯示面板,其參數設定及操作皆可透過(guò)面板按鈕作控制及切換
      高靈敏度傳感器,可精確反饋環(huán)境磁場(chǎng)變化;支持多路傳感器,用于抵消TEM透射電•鏡和CD關(guān)鍵尺寸電子束顯微在線(xiàn)檢測設備的環(huán)境磁場(chǎng)
      網(wǎng)絡(luò )監控(選項)
      本設備為免校正儀器,其內部的自我歸零功能會(huì )自動(dòng)校正
      產(chǎn)品特點(diǎn)
      當今高精電子束設備對環(huán)境磁場(chǎng)及其動(dòng)態(tài)變化是非常敏感的。環(huán)境磁場(chǎng)使電子束產(chǎn)生偏移,從而導致設備分辨率和測量精度的減低。
      SC20系統由磁場(chǎng)控制單元、一兩個(gè)交流或直流磁場(chǎng)傳感器以及裝在待消磁房間里的三根多芯電纜(三維空間線(xiàn)圈)組成,是一種三維的交直流磁場(chǎng)補償系統。
      傳感器測量空間環(huán)境中交直流磁場(chǎng)及其變化量,磁場(chǎng)控制單元以實(shí)時(shí)負反饋環(huán)路控制方式調節三個(gè)線(xiàn)圈中的電流來(lái)創(chuàng )建一個(gè)與環(huán)境磁場(chǎng)變化相反的磁場(chǎng)信號,抵消環(huán)境磁場(chǎng)給電子束設備帶來(lái)的影響,恢復設備應有的分辨率和精度。
      這是一個(gè)動(dòng)態(tài)系統,對磁場(chǎng)躍變自動(dòng)響應的速度在100微秒以?xún)取?br />市電(50/60 Hz)頻率的交流背景磁場(chǎng)可被消除至75分之一;直流背景磁場(chǎng)可被消除至200分之一。

      FAST MR-3電鏡屏蔽/主動(dòng)消磁系統【原裝德國進(jìn)口】
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      聯(lián)系人:劉浩宇
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